Helios Hydra PFIB-SEM 概述

Thermo Scientific Helios Hydra PFIB-SEM 是多功能的多应用工具,配备四种不同的离子源(氩、氮、氧和氙),可选择离子以获得最佳的结果。无论是进行 S/TEM 薄片成像、三维表征还是大面积物理失效分析,全面的样品制备是优异的结构的根本。

 

现在,拥有增强型定向应用能力的 Helios 5+ Hydra 正式推出。了解更多关于这款创新系统如何助力您的失效分析与材料表征挑战的信息。

Helios Hydra PFIB-SEM 仪器特点

多种等离子体FIB离子种类

您可以在不影响性能的情况下,在十分钟内轻松切换氩离子、氮离子、氧离子和氙离子。这种卓越的灵活性极大地拓展了PFIB的潜在应用领域,并有助于推动离子与样品相互作用的研究,从而优化现有应用案例。

超高分辨率SEM分析

将创新性的多种离子等离子体FIB镜筒与带单色器的Thermo Scientific Elstar UC+ SEM镜筒相结合,提供先进的聚焦离子束和电子束性能。

精密FIB切割控制

即使在最大束流下也能利用优化的离子束轮廓,为您的切割过程和实验提供精确控制,并配备省时、直观的软件,适用于手动和引导式工作流程应用。

Helios Hydra 5+ PFIB-SEM的独有特点

极限等离子体FIB铣削

通过对所有PFIB光阑孔进行自动校准,可以轻松实现大体积应用的显著提升,使最大电流始终可用且优化,提高50%,最高可达6微安。

先进的TEM样品制备

我们新一代Thermo Scientific AutoTEM软件具备自动校准功能,确保数据一致且高质量,实现粘接到铜网稳健性以及样品精确减薄,以便对细小特征进行详细分析并缩短变薄时间。

无损去层

旨在通过确保无损采集,彻底革新缺陷分析。增强的去层自动化稳健性支持连续48小时运行。100 eV超低能量成像检测,显著提升设备表征的可靠性,保持其真实状态。

全面样品制备技术的新高度

观看 Thermo Scientific Helios 5+ PFIB-SEM 网络研讨会

仅供科研使用,不用于诊断程序。