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扫描电子显微镜 (SEM) 可提供高质量的 3D 结构表面和横截面成像。随着半导体特性尺寸为响应消费者和工业需求而不断减小，纳米级计量日益成为工艺和器件设计良率的重要贡献者。对关键尺寸的准确和可重复纳米级测量需要高分辨率 SEM 成像和极其准确的放大率校准。
Thermo Fisher Scientific 提供的超高分辨率自动 SEM 功能与我们业界领先的软件解决方案相结合，可实现自动化、精确性和稳健性的SEM成像和计量，从而满足领先存储和逻辑客户的要求。Thermo Scientific 自动化 SEM 利用 NIST 可追溯校准标准、成熟的成像自动化（横截面和自顶向下）和下一代机器学习型计量，可为直接工艺和器件监测提供高性价比的 3D 计量学，并缩短上市时间。
Thermo Fisher Scientific 可提供一系列用于半导体器件关键尺寸分析的 SEM 计量工具，包括配备 Thermo Scientific AutoSEM 软件的 Thermo Scientific Verios 5 SEM，用于自顶向下 SEM 计量。请单击至以下相应半导体SEM计量产品页面了解更多信息，或请求演示。
可使用 Thermo Scientific 软件自动执行半导体 SEM 计量。
半导体SEM 计量工作流程示例
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不断发展的显示技术旨在提高显示质量和光转换效率，以支持不同行业领域的应用，同时继续降低生产成本。我们的过程计量、故障分析和研发解决方案帮助显示公司解决这些挑战。
仪器卡片原件样式表
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