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Verios 5 XHR Scanning Electron Microscope

Verios 5 XHR SEM 采用出色的材料对比度在全 1 keV-30 keV 能量范围内提供亚纳米级分辨率。前所未有的自动化和易用性使任何经验水平的用户都能使用该性能。

体验 Verios XHR SEM 所提供的优势:

  • 使用行业最先进的电子源单色器UC+实现高分辨率纳米材料成像,可在 1-30 kV 范围内实现亚纳米性能。
  • 对电子束敏感材料性能出色,具有 20 eV 着陆能量和高灵敏度电子镜筒内和透镜下检测器以及信号过滤,可实现在低剂量条件下获取超高分辨率和高信噪比图像。
  • 凭借采用 SmartAlign 和 FLASH 技术的 Elstar 电子束镜筒,可大大缩短各种经验水平的用户获得纳米级信息的时间。
  • 借助 ConstantPower 透镜、静电扫描和两种高精度压电陶瓷载物台的选择,获得一致的测量结果。
  • 配备大腔室,配件的灵活性高。
  • 使用 Thermo Scientific AutoScript 4 软件(可选配的基于 Python 的应用程序编程界面)实现仪器无人自动化 SEM 操作。

主要特点

SmartAlign 技术

使用 SmartAlign 技术时,用户无需对电子束镜筒进行任何对中,这不仅能最大限度地减少维护,还能提高生产率。

创新的电子光学系统

包括 Thermo Scientific 获得专利的 UC+(单色器)电子枪、ConstantPower 透镜和静电扫描,可实现准确稳定的成像。

亚纳米级分辨率

Elstar Schottky 电子源单色器(UC+)FESEM 技术和性能,实现从 1 至 30 keV 的亚纳米级分辨率。

一致的测量结果

Verios 非常适合实验室计量应用,能够在高放大倍数下校准经 NIST 认证的标准品。

低剂量操作和最佳对比度选择

结合了先进的高灵敏度、镜筒内 & 透镜下探测器和信号过滤功能 可实现低剂量操作和最佳衬度选择。

轻松访问射束着陆能量

低至 20 eV 也可实现用于真正的表面表征的极高分辨率。

无人照看的 SEM 运行

借助 AutoScript 4 软件,可选配基于 Python 的应用程序编程界面 (API)。

大腔室

可从两种高精确稳定的压电陶瓷驱动样品台中进行选择。


规格

产品表格规范样式表

电子束分辨率

  • 在 30 kV STEM 下 0.6 nm(可选)
  • 在 2-15 kV 下 0.6 nm
  • 1 kV 时 0.7 nm
  • 在 500 V 下 1.0 nm

标准检测器

ETD、TLD、MD、ICD、射束电流测量、Nav-Cam+、IR 摄像机

可选检测器

可选检测器 | EDS、EBSD、RGB 阴极发光、拉曼、WDS 等

载物台偏倚(光束减速、可选)

标准配置包括高达 -4000 V

样品清洁

标配配置包括集成式等离子清洗装置

样品操纵

Verios 5 UC

  • 5-轴电动共心载物台,配有 XYR 轴压电驱动。
  • XY 范围 150 x 150 mm2,70° 倾斜范围。
  • 通过门加载。

Verios 5 HP

  • 已安装腔室,超稳定 5 轴所有压电驱动载物台。
  • XY 范围 100 x 100 mm2,70° 倾斜范围。
  • 通过自动负载锁加载。

 

腔室

379 mm 内径、21 个端口

软件选项

Style Sheet for Komodo Tabs

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本网络讲座将介绍 Thermo Scientific 在实现常规超低温电压 SEM 成像和表征的电子源、电子束镜筒、检测器以及用户界面等方面的技术进展。通过观看网络讲座,您将:

  • 了解高性能 SEM 可以为纳米材料样品提供哪些级别的信息
  • 了解 Verios 5 上的不同技术如何协同工作以实现优异的低电压性能
  • 了解用户界面自动化如何为所有用户带来专家结果

网络讲座:扫描电子显微镜:选择适合您需求的技术

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  • 如何满足不同微区分析模式的需求(EDX、EBSD、WDS、CL 等)。
  • 如何自然状态下表征样品,从而无需进行样品制备。
  • 先进的自动化技术如何使研究人员节省时间并提高生产率。

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