Thermo Scientific™

SURF-CAL™ 微粒尺寸标准品

货号: PD-047
Thermo Scientific™

SURF-CAL™ 微粒尺寸标准品

货号: PD-047
Thermo Scientific™ SURF-CAL™ 尺寸标准品用于校准和维护扫描表面测试系统 (SSIS),可以简化校准晶片的准备工作。可提供的微粒尺寸与仪器生产商要求的校准点大小一致。
 
货号
PD-047
单位规格
Each
浓度
3 x 108粒子/mL
直径(公制)
0.047 μm
价格(CNY)
完整规格
添加剂
浓度3 x 108粒子/mL
含量去离子水中的聚苯乙烯微球
描述用于校准和维护扫描表面监测系统 (SSIS) 的微粒
颜色白色或无色
适用于(应用)SSIS 校准和维护
材质聚苯乙烯
产品类型尺寸标准微粒
包括NIST 校准和可追溯性证书
颗粒密度1.05g/cm³
数量50 mL
折射率1.59,在589nm (25°C)时
规格分布0.004µm
稳定性产品可保持稳定至少12个月
直径(公制)0.047 μm
Unit SizeEach
货号
单位规格
Each
浓度
1 x 10¹°粒子/mL
直径(公制)
0.047 μm
价格(CNY)
完整规格
添加剂
浓度1 x 10¹°粒子/mL
含量去离子过滤水中的聚苯乙烯微球
描述用于校准和维护扫描表面监测系统 (SSIS) 的粒子。
颜色白色或无色
适用于(应用)SSIS 校准和维护
材质聚苯乙烯
产品类型尺寸标准微粒
包括NIST 校准和可追溯性证书
颗粒密度1.05g/cm³
数量50 mL
折射率1.59,在589nm (25°C)时
规格分布0.004µm
稳定性产品可保持稳定至少12个月
直径(公制)0.047 μm
Unit SizeEach
货号
单位规格
Each
浓度
3 x 108粒子/mL
直径(公制)
0.064 μm
价格(CNY)
完整规格
添加剂
浓度3 x 108粒子/mL
含量去离子水中的聚苯乙烯微球
描述用于校准和维护扫描表面监测系统 (SSIS) 的微粒。
颜色白色或无色
适用于(应用)SSIS 校准和维护
材质聚苯乙烯
产品类型尺寸标准微粒
包括NIST 校准和可追溯性证书
颗粒密度1.05g/cm³
数量50 mL
折射率1.59,在589nm (25°C)时
规格分布0.003µm
稳定性产品可保持稳定至少12个月
直径(公制)0.064 μm
Unit SizeEach
货号
单位规格
Each
浓度
1 x 10¹°粒子/mL
直径(公制)
0.064 μm
价格(CNY)
完整规格
添加剂
浓度1 x 10¹°粒子/mL
含量去离子水中的聚苯乙烯微球
描述用于校准和维护扫描表面监测系统 (SSIS) 的微粒。
颜色白色或无色
适用于(应用)SSIS 校准和维护
材质聚苯乙烯
产品类型尺寸标准微粒
包括NIST 校准和可追溯性证书
颗粒密度1.05g/cm³
数量50 mL
折射率1.59,在589nm (25°C)时
规格分布0.003µm
稳定性产品可保持稳定至少12个月
直径(公制)0.064 μm
Unit SizeEach
货号
单位规格
Each
浓度
3 x 108粒子/mL
直径(公制)
0.083 μm
价格(CNY)
完整规格
添加剂
浓度3 x 108粒子/mL
含量去离子水中的聚苯乙烯微球
描述用于校准和维护扫描表面监测系统 (SSIS) 的微粒
颜色白色或无色
适用于(应用)SSIS 校准和维护
材质聚苯乙烯
产品类型尺寸标准微粒
包括NIST 校准和可追溯性证书
颗粒密度1.05g/cm³
数量50 mL
折射率1.59,在589nm (25°C)时
规格分布0.004µm
稳定性产品可保持稳定至少12个月
直径(公制)0.083 μm
Unit SizeEach
货号
单位规格
Each
浓度
1 x 10¹°粒子/mL
直径(公制)
0.083 μm
价格(CNY)
完整规格
添加剂
浓度1 x 10¹°粒子/mL
含量去离子水中的聚苯乙烯微球
描述用于校准和维护扫描表面监测系统 (SSIS) 的微粒。
颜色白色或无色
适用于(应用)SSIS 校准和维护
材质聚苯乙烯
产品类型尺寸标准微粒
包括NIST 校准和可追溯性证书
颗粒密度1.05g/cm³
数量50 mL
折射率1.59,在589nm (25°C)时
规格分布0.004µm
稳定性产品可保持稳定至少12个月
直径(公制)0.083 μm
Unit SizeEach
货号
单位规格
Each
浓度
3 x 108粒子/mL
直径(公制)
0.092 μm
价格(CNY)
完整规格
添加剂
浓度3 x 108粒子/mL
含量聚苯乙烯微球溶液
描述用于校准和维护扫描表面监测系统 (SSIS) 的粒子
颜色白色或无色
适用于(应用)SSIS 校准和维护
材质聚苯乙烯
产品类型尺寸标准微粒
包括NIST 校准和可追溯性证书
颗粒密度1.05g/cm³
数量50 mL
折射率1.59,在589nm (25°C)时
规格分布0.004µm
稳定性产品可保持稳定至少12个月
直径(公制)0.092 μm
Unit SizeEach
货号
单位规格
Each
浓度
1 x 10¹°粒子/mL
直径(公制)
0.092 μm
价格(CNY)
完整规格
添加剂
浓度1 x 10¹°粒子/mL
含量去离子水中的聚苯乙烯微球
描述用于校准和维护扫描表面监测系统 (SSIS) 的粒子。
颜色白色或无色
适用于(应用)SSIS 校准和维护
材质聚苯乙烯
产品类型尺寸标准微粒
包括NIST 校准和可追溯性证书
颗粒密度1.05g/cm³
数量50 mL
折射率1.59,在589nm (25°C)时
规格分布0.004µm
稳定性产品可保持稳定至少12个月
直径(公制)0.092 μm
Unit SizeEach
货号
单位规格
Each
浓度
3 x 108粒子/mL
直径(公制)
0.100 μm
价格(CNY)
完整规格
添加剂
浓度3 x 108粒子/mL
含量去离子水中的聚苯乙烯微球
描述用于校准和维护扫描表面监测系统 (SSIS) 的微粒
颜色白色或无色
适用于(应用)SSIS 校准和维护
材质聚苯乙烯
产品类型尺寸标准微粒
包括NIST 校准和可追溯性证书
颗粒密度1.05g/cm³
数量50 mL
折射率1.59,在589nm (25°C)时
规格分布0.003µm
稳定性产品可保持稳定至少12个月
直径(公制)0.100 μm
Unit SizeEach
货号
单位规格
Each
浓度
1 x 10¹°粒子/mL
直径(公制)
0.100 μm
价格(CNY)
完整规格
添加剂
浓度1 x 10¹°粒子/mL
含量去离子过滤水中的聚苯乙烯微球
描述用于校准和维护扫描表面监测系统 (SSIS) 的粒子。
颜色白色或无色
适用于(应用)SSIS 校准和维护
材质聚苯乙烯
产品类型尺寸标准微粒
包括NIST 校准和可追溯性证书
颗粒密度1.05g/cm³
数量50 mL
折射率1.59,在589nm (25°C)时
规格分布0.003µm
稳定性产品可保持稳定至少12个月
直径(公制)0.100 μm
Unit SizeEach
显示10,共35显示更多
货号规格单位规格浓度直径(公制)价格(CNY)
PD-047完整规格
Each3 x 108粒子/mL0.047 μm申请报价
添加剂
浓度3 x 108粒子/mL
含量去离子水中的聚苯乙烯微球
描述用于校准和维护扫描表面监测系统 (SSIS) 的微粒
颜色白色或无色
适用于(应用)SSIS 校准和维护
材质聚苯乙烯
产品类型尺寸标准微粒
包括NIST 校准和可追溯性证书
颗粒密度1.05g/cm³
数量50 mL
折射率1.59,在589nm (25°C)时
规格分布0.004µm
稳定性产品可保持稳定至少12个月
直径(公制)0.047 μm
Unit SizeEach
PD-047B完整规格
Each1 x 10¹°粒子/mL0.047 μm申请报价
添加剂
浓度1 x 10¹°粒子/mL
含量去离子过滤水中的聚苯乙烯微球
描述用于校准和维护扫描表面监测系统 (SSIS) 的粒子。
颜色白色或无色
适用于(应用)SSIS 校准和维护
材质聚苯乙烯
产品类型尺寸标准微粒
包括NIST 校准和可追溯性证书
颗粒密度1.05g/cm³
数量50 mL
折射率1.59,在589nm (25°C)时
规格分布0.004µm
稳定性产品可保持稳定至少12个月
直径(公制)0.047 μm
Unit SizeEach
PD-064完整规格
Each3 x 108粒子/mL0.064 μm申请报价
添加剂
浓度3 x 108粒子/mL
含量去离子水中的聚苯乙烯微球
描述用于校准和维护扫描表面监测系统 (SSIS) 的微粒。
颜色白色或无色
适用于(应用)SSIS 校准和维护
材质聚苯乙烯
产品类型尺寸标准微粒
包括NIST 校准和可追溯性证书
颗粒密度1.05g/cm³
数量50 mL
折射率1.59,在589nm (25°C)时
规格分布0.003µm
稳定性产品可保持稳定至少12个月
直径(公制)0.064 μm
Unit SizeEach
PD-064B完整规格
Each1 x 10¹°粒子/mL0.064 μm申请报价
添加剂
浓度1 x 10¹°粒子/mL
含量去离子水中的聚苯乙烯微球
描述用于校准和维护扫描表面监测系统 (SSIS) 的微粒。
颜色白色或无色
适用于(应用)SSIS 校准和维护
材质聚苯乙烯
产品类型尺寸标准微粒
包括NIST 校准和可追溯性证书
颗粒密度1.05g/cm³
数量50 mL
折射率1.59,在589nm (25°C)时
规格分布0.003µm
稳定性产品可保持稳定至少12个月
直径(公制)0.064 μm
Unit SizeEach
PD-083完整规格
Each3 x 108粒子/mL0.083 μm申请报价
添加剂
浓度3 x 108粒子/mL
含量去离子水中的聚苯乙烯微球
描述用于校准和维护扫描表面监测系统 (SSIS) 的微粒
颜色白色或无色
适用于(应用)SSIS 校准和维护
材质聚苯乙烯
产品类型尺寸标准微粒
包括NIST 校准和可追溯性证书
颗粒密度1.05g/cm³
数量50 mL
折射率1.59,在589nm (25°C)时
规格分布0.004µm
稳定性产品可保持稳定至少12个月
直径(公制)0.083 μm
Unit SizeEach
PD-083B完整规格
Each1 x 10¹°粒子/mL0.083 μm申请报价
添加剂
浓度1 x 10¹°粒子/mL
含量去离子水中的聚苯乙烯微球
描述用于校准和维护扫描表面监测系统 (SSIS) 的微粒。
颜色白色或无色
适用于(应用)SSIS 校准和维护
材质聚苯乙烯
产品类型尺寸标准微粒
包括NIST 校准和可追溯性证书
颗粒密度1.05g/cm³
数量50 mL
折射率1.59,在589nm (25°C)时
规格分布0.004µm
稳定性产品可保持稳定至少12个月
直径(公制)0.083 μm
Unit SizeEach
PD-092完整规格
Each3 x 108粒子/mL0.092 μm申请报价
添加剂
浓度3 x 108粒子/mL
含量聚苯乙烯微球溶液
描述用于校准和维护扫描表面监测系统 (SSIS) 的粒子
颜色白色或无色
适用于(应用)SSIS 校准和维护
材质聚苯乙烯
产品类型尺寸标准微粒
包括NIST 校准和可追溯性证书
颗粒密度1.05g/cm³
数量50 mL
折射率1.59,在589nm (25°C)时
规格分布0.004µm
稳定性产品可保持稳定至少12个月
直径(公制)0.092 μm
Unit SizeEach
PD-092B完整规格
Each1 x 10¹°粒子/mL0.092 μm申请报价
添加剂
浓度1 x 10¹°粒子/mL
含量去离子水中的聚苯乙烯微球
描述用于校准和维护扫描表面监测系统 (SSIS) 的粒子。
颜色白色或无色
适用于(应用)SSIS 校准和维护
材质聚苯乙烯
产品类型尺寸标准微粒
包括NIST 校准和可追溯性证书
颗粒密度1.05g/cm³
数量50 mL
折射率1.59,在589nm (25°C)时
规格分布0.004µm
稳定性产品可保持稳定至少12个月
直径(公制)0.092 μm
Unit SizeEach
PD-100完整规格
Each3 x 108粒子/mL0.100 μm申请报价
添加剂
浓度3 x 108粒子/mL
含量去离子水中的聚苯乙烯微球
描述用于校准和维护扫描表面监测系统 (SSIS) 的微粒
颜色白色或无色
适用于(应用)SSIS 校准和维护
材质聚苯乙烯
产品类型尺寸标准微粒
包括NIST 校准和可追溯性证书
颗粒密度1.05g/cm³
数量50 mL
折射率1.59,在589nm (25°C)时
规格分布0.003µm
稳定性产品可保持稳定至少12个月
直径(公制)0.100 μm
Unit SizeEach
PD-100B完整规格
Each1 x 10¹°粒子/mL0.100 μm申请报价
添加剂
浓度1 x 10¹°粒子/mL
含量去离子过滤水中的聚苯乙烯微球
描述用于校准和维护扫描表面监测系统 (SSIS) 的粒子。
颜色白色或无色
适用于(应用)SSIS 校准和维护
材质聚苯乙烯
产品类型尺寸标准微粒
包括NIST 校准和可追溯性证书
颗粒密度1.05g/cm³
数量50 mL
折射率1.59,在589nm (25°C)时
规格分布0.003µm
稳定性产品可保持稳定至少12个月
直径(公制)0.100 μm
Unit SizeEach
显示10,共35显示更多
Thermo Fisher Scientific™ 以及半导体行业和 SEMI 共同确定了校准扫描表面测试系统时所使用的特定粒径。我们与仪器制造商一起合作,共同开发了这一套符合 SEMI 指南要求的 SURF-CAL™ 系列产品。
  • 可提供的微粒尺寸包括半导体国际技术蓝图 (ITRS) 定义的关键的尺寸节点的大小。
  • 将 SURF-CAL™ NIST™ 可溯源聚苯乙烯微球 (PSL) 置于特别选定的晶片上,您就可以执行定期校准检查,并可将您的扫描仪与其他地方的扫描仪进行对比。
  • 您也可以在生产过程中的关键阶段对 SSIS 系统进行性能评估。
  • 这一系列标准品悬浮于去离子水中,以终浓度为 3 × 108 粒子/mL 的 50mL 瓶装规格提供。

备注:

PD1100 系列产品以及更小的粒子均以浓度为1010粒子/mL 的规格提供,主要用于微分迁移率分析仪 (DMA) 或其他尺寸排阻技术作为辅助手段的应用。

内容与储存

除非另有说明,未使用本产品时,将其冷藏(2°C 至 8°C),请勿冷冻。将瓶子竖直密封存放。用手轻轻颠倒或用涡旋混合器混合产品。

图表

文件和下载

证书

    常见问题解答 (FAQ)

    引用和文献

    Search citations by name, author, journal title or abstract text