Search
3D 成像有助于解释样品特征,并使更大的用户人群能够理解图像。通常很难从平面 2D 图像中识别出凹痕、划痕和毛刺等。测量平均粗糙度 (Ra) 和粗糙度高度 (Rz) 对于控制和理解生产工艺至关重要。通过使用 SEM 成像进行数据采集,可以实现比使用传统(间接)方法更好的分辨率。
主要优点