3D 重建
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Thermo Scientific™

3D 重建

通过 3D 粗糙度重建应用,Phenom 台式 SEM 系统能够生成三维图像和亚微米粗糙度测量值。
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使用 Thermo Scientific™ 3D 粗糙度重建应用程序,Thermo Scientific™ Phenom™ 台式 SEM 系统能够生成三维图像和亚微米粗糙度测量值。

3D 成像有助于解释样品特征,并使更大的用户人群能够理解图像。通常很难从平面 2D 图像中识别出凹痕、划痕和毛刺等。测量平均粗糙度 (Ra) 和粗糙度高度 (Rz) 对于控制和理解生产工艺至关重要。通过使用 SEM 成像进行数据采集,可以实现比使用传统(间接)方法更好的分辨率。

主要优点

  • 直观的用户界面、可最大限度提高用户使用能力
  • 直观的全自动用户界面
  • 基于 “ 阴影形状 ” 技术、无需阶段倾斜
  • 快速重建
规格
描述3D 粗糙度重建应用
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