用于半导体的 Meridian™ V 系统

优化的动态 LSM 平台

• 完美光程实现极佳成像
• 架构支持自动检测设备 (ATE) 对接和背侧 (B/S) 分析
• 为实验室提供机动性；高功率冷却选项

顶级性能

• 激光电压探测 (LVP) 和激光电压成像 (LVI) 用于定时和功能分析
• 用于关键路径分析的动态激光模拟 (DLS)
• 强大且易于使用的 Sierra 软件 GUI

动态电气故障隔离

• 晶体管和单元级故障定位
• 隔离设计-过程边缘性
• 基于 Ruby 光学元件

配置 & 特点

极高性能的固体浸没透镜 (SIL) 和成像

• 优化的单色光程
• “点 & 单击” 高数值孔径 (NA) SIL (3.1, 2.9 NA)
• 偏振优化的成像
• 高性能 1320 nm LVI 和 LVP
• 低频和高带宽选项
• 高分辨率 1064 nm LVx 选项

性能共焦 LSM

• 静态和动态激光刺激；SLS 锁定
• 双波长近红外（近红外系统）(1064, 1320/1340)

系统

• Sierra 软件套件
• 基于 Ruby 光学元件