nProber IV 系统

Thermo Scientific nProber IV 系统是一个基于扫描电子显微镜的高性能平台，用于晶体管和金属化故障的定位。它是我们迄今为止极先进的纳米探测系统，也是率先使用高分辨率 LEEN2 SEM 柱的系统。nProber IV 系统专门设计用于提高您故障分析 (FA) 工作流程的速度、准确度和输出，其中生产率极重要。

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主要特点

• 领先的晶体管探测
  nProber IV SteadFast 纳米操纵器与温度控制的探测环境相结合，使探针具有与领先的晶体管配合工作所需的稳定性。
• 敏感样品的高分辨率成像
  nProber IV 系统的新 LEEN2 柱支持低至 100 eV 的探测操作，并包括一个将样品剂量降低 30% 的高级控制系统。这些进步使 nProber IV 系统能够准确测量关键晶体管参数，同时尽可能减少 SEM 成像的偏移。
• 指导性操作和自动化
  nProber IV 系统配备 eFast 半自动指导性工作流程，可帮助您完成从上样到电气表征的系统操作。eFast 软件可自动设置 LEEN2 柱并控制关键子系统，确保在多用户生产环境中实现一致的结果。
• 3D 结构
  nProber IV 系统可配备 EBIRCH2 和 EBAC，以发现低至 ∼100 Ω 的 3D 互连结构中的关键故障。EBIRCH2 还可用于定位 FinFET 晶体管中的关键缺陷。此外，nProber IV 系统可配备一个子载物台，使探针能够隔开许多毫米，这对于大型 3D NAND 结构中的故障隔离至关重要。
• 电阻栅故障
  nProber IV 系统可以利用上升时间小于 1 ns 的高速脉冲探测来隔离电阻栅故障。
• 自动化
  我们的 easyProbe 软件可自动执行 nProber IV 工作流程中的关键步骤，包括：清洁探针、将探针降至样品上以及优化探针与样品之间的电气接触。easyProbe 软件可显著减少使用 nProber IV 系统所需的培训，并允许长时间的自动操作。
• 自动可靠性
  可选的热表征封装支持近期自动可靠性标准。样品温度可在 -40°C 至 150°C 之间进行控制，以隔离在环境温度下无法检测到的故障。