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  • 透射电子显微镜
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适用于半导体的 Spectra 300 S/TEM

作为同类产品中较快、较可靠的仪器，Thermo Scientific™ Spectra 300 扫描/透射电子显微镜 (S/TEM) 为半导体材料和半导体失效分析的研究提供了前所未有的性能。凭借高亮度场发射枪 (X-FEG) 和易于使用的软件的独特组合，您现在可以掌握 7 nm 或更小节点设备等先进产品的使用。凭借产生快速 EDS 绘图（无任何空间分辨率的损失）、以及电子能量损失谱 (EELS) 和低 kV 分析的能力，它是适用于工业应用的理想高端 S/TEM 解决方案。