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Thermo Scientific Helios Hydra PFIB-SEMs(等离子体聚焦离子束扫描电子显微镜)是独特的多离子种等离子体-FIB 平台,能够根据感兴趣材料匹配所需离子种,从而在各种应用、材料类型和尺寸尺度上表现出色。
Thermo Scientific Helios Hydra 5+ PFIB-SEM 提供新一代等离子体聚焦离子束应用技术,提升了离子束性能,可在大体积材料去除方面实现卓越的速度、质量与自动化性能,特别适用于 TEM 薄片(lamella)制备, 提供稳定、无损的去层能力,满足长时间自动化运行和数据采集需求。
借助如“极限铣削”和“无损分层去除”等高性能套件,您可以进一步强化 Helios 与 Helios Hydra 等离子体聚焦离子束扫描电子显微镜 ,实现面向具体应用的可定制自动化,并提升系统稳健性与吞吐量。
Helios Hydra 5+ 等离子体聚焦离子束扫描电子显微镜在 FIB 性能上实现超增强,相较于传统等离子体聚焦离子束系统,可实现最高 2–4 倍的截面制备吞吐量提升;同时 Xe+ 和 Ar+ 的最大电流有所提升,并在高纵横比结构加工中展现出极佳的垂直度。 它在去层应用中提供优化的 SEM 稳定性,支持 100 eV 成像,并在 <500 eV 下实现完全自动的束流对准。 应用自动化提高了薄片(lamella)制备的稳健性(顶向、平面和倒置配置),并有助于在长时间的去层过程中确保可靠结果。 此外,通过对所有光阑进行完全自动化的 PFIB 对准以及为大体积材料去除优化的增强型真空系统,可提升系统运行时间。
Thermo Scientific Helios 5 Hydra等离子体聚焦离子束扫描电子显微镜 是一款多用途的多应用仪器,配备四种不同的离子源(氩、氮、氧和氙),可针对金属、电池和半导体等样品选择最合适的离子以获得最佳结果。
出色的结果始于样品制备——无论是用于扫描透射电子显微镜(STEM)和透射电子显微镜(TEM)的样品制备、3D 表征,还是大面积失效分析。
您可以在不到十分钟内轻松在氩、氮、氧和氙之间切换,同时不影响性能。 这种显著的灵活性大幅拓展了 PFIB 的潜在应用领域,并推动对离子—样品相互作用的研究,从而优化现有用例。
Helios Hydra 5等离子体聚焦离子束扫描电子显微镜允许在四种离子(Xe、Ar、O、N)之间快速切换,从而针对各种样品实现性能优化。 它便于快速且简便地制备高质量样品,包括无镓的 TEM 薄片(lamellae)。 系统可进行高分辨率、大体积的 3D 断层成像,并整合多模态的亚表面三维信息(SEM、EDS、EBSD)。 借助节省时间的自动化软件和基于工作流的解决方案,该系统为铣削实验提供精确控制。 如需了解专用于生命科学应用的仪器,请参阅: Thermo Scientific Hydra Bio Plasma-FIB。
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Helios Hydra 5 PFIB-SEM |
Helios Hydra 5+ PFIB-SEM |
| 最大离子束电流 | |
| 2.5uA Xe, 4uA Ar | 3.75uA Xe, 6uA Ar |
| 最小电子束电压 | |
| 350 eV | 100 eV |
| 全束对准自动化 | |
仅供研究使用。不得用于诊断用途。