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ESCALAB QXi X 射线光电子能谱仪微探针

结合了高灵敏度、高分辨率定量成像以及多技术联用能力的 Thermo Scientific™ ESCALAB™ QXi X 射线光电子能谱仪 (XPS) 微探针将满足您对提高分析性能和灵活性的需求。 

ESCALAB QXi XPS 微探针是一种可扩展和优化的多技术仪器,具有无与伦比的灵活性和可配置性。它非常灵敏,可在几秒钟内产生高质量的光谱。系统控制、数据采集、处理和报告无缝集成在强大的 Thermo Scientific Avantage 数据系统中。由直观软件驱动的尖端技术保证了世界一流的结果和生产力。ESCALAB QXi XPS 微探针具有独特的双检测器系统,还提供具有出色空间分辨率的优质 XPS 成像。 

Thermo Scientific ESCALAB QXi 微探针自动进样

 

ESCALAB QXi X射线光电子能谱仪微探针


ESCALAB QXi XPS微探针的特点——单色 XPS

单色 XPS

双晶微聚焦单色器带有 500 mm 罗兰圆,使用铝阳极(或有双单色器选项的铝银双阳极),测试光斑尺寸在 200 µm 到 900 µm 范围内可选。 

ESCALAB QXi XPS微探针的特点——电子枪

电子枪

与分析仪输入透镜同轴的电子枪用于在使用单色 X 射线源 分析非导电样品 时进行电荷补偿,而 不使用磁透镜时, 双束电子枪产生 两种 低能离子 , 以协助提供有效的电荷补偿和低能电子。

ESCALAB QXi XPS微探针的特点——镜头和分析仪

透镜和分析仪

ESCALAB QXi XPS微探针上的透镜和分析仪系统针对光谱学和平行成像进行了优化;单一分析仪路径意味着相同的仪器参数(例如,通过能)可用于谱图和成像。 

ESCALAB QXi XPS微探针的特点——检测器

检测器

ESCALAB QXi XPS 微探针配备了两个检测器系统:一个针对光谱进行了优化,由一组六通道电子倍增器组成,另一个用于平行成像,由一对通道板和一个连续位置敏感探测器组成。 

ESCALAB QXi XPS微探针的特点——离子枪

离子枪 

ESCALAB QXi XPS 微探针有两个选项用于快速、高分辨率的深度剖析:标准 EX06 离子枪,针对单粒子模式离子溅射和离子散射光谱进行了优化;以及可选的单粒子和团簇离子源 MAGCIS,它能够应用于单粒子离子剖析、离子簇剖析和离子散射光谱分析。

ESCALAB QXi XPS微探针的特点——数码控制

数码控制

所有分析功能均由基于 Windows 软件的 Avantage 数据系统控制,这意味着可以根据需要远程执行整个分析过程。 

ESCALAB QXi XPS微探针的特点——对齐

对准和校准

包含铜、银和金样品的标准块可用于评估灵敏度、设置分析仪能量标度的线性度、校准离子源、校准 X 射线单色器以及确定分析仪的转换功能。 

ESCALAB QXi XPS微探针的特点——样品对齐

样品对齐

样品台上的所有运动轴均由 Avantage 数据系统控制,仪器上安装了高分辨率数码摄像机,并与分析位置准确对齐。

ESCALAB QXi XPS微探针的特点——样品机械手

样品机械手

计算机控制的 5 轴高精度转换器 (HPT) 可实现准确的样品对齐以进行分析。当与新的自动样品装载系统结合使用时,它可用于自动更换样品架和运行预设实验树。

ESCALAB QXi XPS微探针的特点——真空系统

真空系统

分析室由 5 mm 厚的高导磁合金 构成,以最大限度地提高磁屏蔽效率,并使用涡轮分子泵和钛升华泵对分析室进行抽气,使分析室的真空度优于 5 x 10-10毫巴。

ESCALAB QXi XPS微探针的特点——制备室

制备室 

标准前处理室是一个组合式的样品入口锁和制备室,具有可容纳各种样品制备设备的端口,例如加热/冷却探针、离子枪、高压气室、样品停放装置和气体入口。 

ESCALAB QXi XPS微探针的特点——连接性

连接性

测量坐标可以通过Thermo Scientifc Maps软件从专用显微镜系统导入Avantage数据系统,从而更快地识别测量区域。可以将 XPS 光谱和成像数据添加至 Maps 软件中,以便直接比较表面化学和结构信息。


性能数据

产品表格规范样式表
单色 X 射线源
  • 微聚焦 Al K-Alpha 源或可选的微聚焦双阳极 Al K-Alpha 和 Ag L-Alpha 源
分析
  • 180°、双聚焦、双极半球形分析仪,配备用于光谱和成像的双检测器系统
离子源
  • Monatomic EX06 离子源作为标准配置提供; MAGCIS 双模离子源可选
真空系统
  • 两个用于入口和分析室的涡轮分子泵,配备旋转泵或无油前级泵;用于分析室的自启动、3 丝钛升华泵
样品台
  • 具有样品加热和冷却功能的 5 轴样品台
  • 从样品室到分析室的可选全自动样品传送
包括标准分析技术
  • X 射线光电子能谱 (XPS)
  • 反射电子能量损失谱 (REELS) 
  • 离子散射谱 (ISS) 
可选的分析技术
  • 用于紫外光电子能谱 (UPS) 的紫外灯 
  • 用于 HAXPES 的非单色 X 射线源 
  • 用于俄歇电子能谱 (AES) 和 SEM 的场发射电子源 
  • 逆光电子能谱 (IPES) 
  • EDS 检测器 
可选配件
  • 手套箱、真空转移容器、EX03 宽束离子源、盘片相机 
样品制备选项
  • 加热/冷却样品架、附加制备室、可烘烤的 3 路进气管、断裂台、样品停放装置 
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按需观看:新的 ESCALAB QXi XPS 应用程序演示网络讲座

观看此网络讲座,以便:

  • 了解如何对各种样品类型(包括金属、聚合物、氧化物和电池材料)执行全自动多技术表面分析。
  • 观看的 ESCALAB QXi 微探针的操作。

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