来自 Thermo Fisher Scientific 的 XPS 表面分析系统

Thermo Scientific Nexsa G2 X射线光电子能谱系统 提供全自动、高通量的表面分析,产生可用于推进研发或解决生产问题的数据。 通过将 XPS 与离子散射谱 (ISS)、紫外光电子能谱 (UPS)、反射电子能量损失谱 (REELS) 和拉曼光谱相结合,可以进行真正的相关分析。

 

该系统现在可选配样品加热和样品施加偏压功能,从而扩大可开展的实验类型。 Nexsa G2 表面分析系统为材料科学、微电子学、纳米技术开发及许多其他应用的进展释放潜力。


Nexsa G2表面分析系统的特性

高性能 X 射线源

一种新的优化 X 射线单色仪设计使得可以以 5 µm为步进,选择从 10 µm 到 400 µm 的分析区域,确保从目标特征采集数据的同时最大化信号强度。

优化电子光学

高效电子透镜、半球形分析器和探测器可实现卓越的可检测性并加快数据采集。

XPS 样品观察

通过 Nexsa G2表面分析系统 的专利光学观察系统和 XPS SnapMap,可将样品特征聚焦并帮助您快速定位感兴趣区域。

XPS 绝缘体分析

该专利双束电荷中和源将低能离子束与超低能电子(低于 1 eV)相结合,可防止样品在分析过程中发生荷电,因此在大多数情况下无需进行荷电校正。

XPS 深度剖析

借助 EX06 离子源,深入表面之下开展分析。。自动化的离子源优化和气体处理确保出色的性能与实验可重复性。

Optional XPS 样品架

借助可用的专业样品夹具扩展您的应用场景:用于角度分辨 XPS、样品偏压测量或来自手套箱的惰性转移。

Avantage 软件

仪器控制、数据处理和报告均由 Thermo Scientific 的 Avantage Software 进行管理。 Avantage Software 包含 Knowledge View,这是一套全面的教程与参考资料,指导用户完成分析流程。

Correlative XPS 成像与表面分析工作流程

使用 Thermo Scientific Maps Software,通过相关成像与表面分析工作流程将 XPS 数据与 SEM 图像相关联。


Nexsa G2 Surface Analysis System 规格

分析器类型
  • 180° 双聚焦半球形分析器,配备 128 通道探测器
X射线源类型
  • 单色化、微聚焦、低功率 Al Kα X射线源
X射线光斑尺寸
  • 10–400 µm(以 5 µm 步长可调)
深度剖面分析
  • EX06 单原子离子源或 MAGCIS 双模式离子源
最大样品面积
  • 60 x 60 mm
最大样品厚度
  • 20 mm

真空系统

  • 两台涡轮分子泵,配有自动钛升华泵及前级泵
可选配件
  • UPS、ISS、REELS、拉曼光谱仪、MAGCIS、样品倾斜模块、NX 样品加热模块、样品偏压模块、真空转移模块、用于手套箱集成的适配器

XPS 分析资源

Nexsa G2表面分析系统网络研讨会

点播网络研讨会:Thermo Scientific Nexsa G2 表面分析系统演示

了解 Nexsa G2 XPS System 如何利用 XPS、UPS、ISS、REELS、拉曼光谱等技术对多种材料进行研究。

XPS 分析视频

XPS 分析应用说明

Nexsa G2表面分析系统文档

仅供研究使用。不得用于诊断程序。