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特邀嘉宾

报告题目:追本溯源 - TEM如何助力化合物半导体及显示技术的良率提升及研发

曹潇潇 - 赛默飞世尔科技PFA高级业务拓展经理

本报告讲着重介绍TEM的基本原理,并结合实际案例展示透射电子显微镜如何在化合物半导体(SiC/GaN/InGaAs)及显示领域(OLED, MicroLED etc.)助力客户提高良率、改进性能

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时间特邀报告​特邀嘉宾​
5月6日“更快,更深,更全” - 高效率双束电镜在半导体量产工业领域的应用蔡琳玲
赛默飞世尔科技PFA业务拓展经理
5月19日“诊断”多面手 - 锁相热辐射在半导体领域披荆斩棘唐涌耀
赛默飞世尔科技EFA业务拓展经理
6月9日追本溯源 - TEM如何助力化合物半导体及显示技术的良率提升及研发曹潇潇
赛默飞世尔科技PFA高级业务拓展经理
  • 2022年5月6日
  • 2022年5月19日

特邀嘉宾

特邀报告:“更快,更深,更全” - 高效率双束电镜在半导体量产工业领域的应用

蔡琳玲 - 赛默飞世尔科技PFA业务拓展经理

随着半导体器件结构变得越来越复杂,精确定位这些器件中的缺陷变得越来越困难,需要更多源的加工技术以及更高效的加工手段,并且结合高分辨的成像和微量分析技术来进行全面分析。本报告从长FIB-SEM 技术的基本原理和前沿技术出发,重点介绍Helios 5 PFIB 在芯片封装、显示面板、第三代半导体等领域的应用优势

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特邀嘉宾

特邀报告:“诊断”多面手 - 锁相热辐射在半导体领域披荆斩棘

唐涌耀 - 赛默飞世尔科技EFA业务拓展经理

伴随着中国半导体行业的飞速发展,产业规模不断扩大,技术水平不断提升,在整个产业链中,半导体芯片失效分析也面临着新的挑战。在失效分析领域,电性失效定位一直扮演着行业“医生”这样重要的角色。

锁相热辐射失效定位通过对失效回路电性进行频率调制,结合高灵敏度InSb红外相机,从而实现快速准确地对失效点进行定位,提高后续的物性分析成功率以及为工艺问题澄清奠定了基础。该技术广泛应用于芯片生产、封装测试、PCBA等上下游产品的电性失效定位,应用失效类型通常包括线路短路、器件漏电、ESD损伤、电阻性开路等。

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