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用于材料表面分析的 K-Alpha XPS 系统
Thermo Scientific K-Alpha X 射线光电子能谱（XPS）系统为表面分析带来全新方法。该系统聚焦于通过精简化工作流程提供高质量结果，使 XPS 操作变得简单直观，同时不牺牲性能或功能。
先进性能、更低的总体拥有成本、更高的易用性以及更高的样品通量，使 K-Alpha XPS 系统非常适合多用户环境。K-Alpha XPS 系统让全球更多研究人员能够开展表面分析。
以生产力为核心设计，覆盖从科研到常规检测
K-Alpha XPS 系统显著提升了能谱性能。这一飞跃带来更快的分析速度、更强的元素检出能力，并可在更高分辨率下采集数据，从而实现更优的化学态鉴别。
分析选件包括真空转移模块（用于将对空气敏感的样品从手套箱转移至系统）以及用于采集 ARXPS 数据的倾斜模块。K-Alpha XPS 系统配备 Thermo Scientific Avantage 软件——一套完整的表面分析软件系统，提供多种软件功能以优化数据解读、数据报告与可用性。K-Alpha XPS 系统同时满足资深 XPS 分析人员与新入门用户的需求，将高性能、单色化 XPS、溅射深度剖析、智能自动化与直观控制融为一体。
强劲性能
K-Alpha XPS 系统兼具强劲性能与无与伦比的易用性，旨在满足行业最高标准。可体验选区能谱分析、溅射深度剖析、微聚焦单色器以及快照采集等先进能力。借助高分辨率化学态能谱、绝缘体分析与定量化学成像，获得精准可靠的结果。
无与伦比的易用性
我们的平台简化了谱图、成像、深度剖析与线扫描的采集，并通过识别元素与化学态来辅助解读。借助定量、峰拟合、实时剖面显示、谱图操作、PCA、相分析、TFA、NLLSF、PSF 去除以及光学图像与 XPS 图像叠加等功能，精简数据处理任务。自动生成报告并可便捷导出至其他软件，使报告输出轻松高效。通过 Avantage 软件界面可无缝控制所有硬件，并包含 Avantage 程序树以实现高效的数据归档管理。借助审计追踪记录、系统性能记录与按需校准，确保准确性与合规性。支持完全远程操作的灵活性，使我们的解决方案成为满足你分析需求的理想之选。
关键系统特性
K-Alpha XPS 系统兼具强劲性能与无与伦比的易用性，旨在满足行业最高标准。可体验选区能谱分析、溅射深度剖析、微聚焦单色器以及快照采集等先进能力。借助高分辨率化学态能谱、绝缘体分析与定量化学成像，获得精准可靠的结果。
分析器
180° 双聚焦半球能量分析器，配 128 通道探测器
X 射线源
Al Kα 微聚焦单色器，光斑尺寸可调
离子枪
能量范围 100–4000 eV
电荷补偿
双束中和源
样品尺寸
四轴样品台，样品面积 60 × 60 mm，最大样品厚度 20 mm
选件
真空转移模块、用于 ARXPS 的倾斜模块、样品偏压模块
K-Alpha XPS 系统特性
高性能 X 射线源
X 射线单色器支持以 5 µm 为步进，在 50 µm 到 400 µm 之间选择分析区域，使其匹配目标特征以最大化信号。
优化的电子光学系统
高效率电子透镜、半球分析器与探测器的组合，实现卓越的检出能力与快速的数据采集。
XPS 样品观察
借助 K-Alpha XPS 系统的专利光学观察系统与 XPS SnapMap，可将样品特征清晰聚焦，帮助你快速定位关注区域。
绝缘体分析
专利双束荷电中和源将低能离子束与超低能电子（< 1 eV）结合，在分析过程中防止样品带电，从而在多数情况下无需进行荷电校正。
深度剖析
使用 EX06 离子源实现超越表面的深度信息获取。自动化源优化与气体处理确保卓越性能与实验可重复性。
可选 XPS 样品台
借助用于角分辨 XPS、样品偏压测量或手套箱惰性转移的专用样品台，拓展更多应用可能。
Avantage 软件
在 Avantage 软件引导下的直观操作，使 K-Alpha XPS 系统既适用于多用户共享平台，也适合重视高效操作与高通量分析的 XPS 专家。
K-Alpha XPS 系统规格参数
| Analyzer type |
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| X-ray source type |
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| X-ray spot size |
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| Depth profiling |
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| Maximum sample area |
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| Maximum sample thickness |
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Vacuum system |
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| Optional accessories |
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XPS 分析资源
K-Alpha X 射线光电子能谱系统网络研讨会
XPS 分析视频
XPS 分析应用说明
K-Alpha XPS 系统文档
仅供科研使用。不得用于诊断用途。