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用于 X 射线光电子能谱分析的 ESCALAB QXi XPS 表面分析系统
通过 Thermo Scientific ESCALAB QXi X 射线光电子能谱（XPS）集高光谱灵敏度、高分辨率、定量成像和多技术分析能力于一体，助力提升分析性能与灵活性。
ESCALAB QXi XPS是一款可扩展且经过优化的多技术分析仪器，具有卓越的灵活性和可配置性。该系统在高分辨率谱学分析和 XPS 成像方面均表现出色。可选的双单色器支持自动切换至更高能量的 Ag X 射线源，用于 HAXPES 研究。
凭借极高的灵敏度，系统可在数秒内产生高质量谱图。 其独特的双探测器系统可实现出色的 XPS 成像，并具备卓越的空间分辨率。 系统控制、数据采集、处理和报告在功能强大的 Thermo Scientific Avantage 软件中无缝集成。 由直观软件驱动的先进技术有助于确保世界一流的分析结果与工作效率。
除了 XPS 外，ESCALAB QXi XPS 标配为多技术系统，包含离子散射谱（ISS）和反射电子能量损失谱（REELS）。 该系统可根据您的研究需求进行定制，标配 ISS 和 REELS，并可选择添加 HAXPES、AES、UPS、拉曼和 IPES。 系统架构还支持多种样品制备选项，并可与其他真空设备集成。 ESCALAB QXi XPS是能够满足最苛刻研究需求的表面分析仪器。
ESCALAB QXi XPS的功能特点
单色化 XPS 分析与 HAXPES
该双晶微聚焦单色器采用 500 mm Rowland 圆设计，使用 Al 阳极（或在双单色器选件下采用 Al/Ag 双阳极，以实现从 XPS 到 HAXPES 的自动切换），并允许选择 200 µm 至 900 µm 范围内的任意分析点尺寸。
光谱成像
ESCALAB QXi XPS 的透镜和分析器系统针对光谱测量和并行成像进行了优化。 单一的分析器通路意味着两种模式可使用相同的仪器参数（例如通带能量）。 系统配备了两套检测器系统：一套针对光谱测量优化，另一套针对并行成像优化，由一对通道板和一台连续位敏检测器组成。
XPS 分析中的电荷中和
当使用单色 X 射线源分析绝缘样品时，位于分析器输入透镜同轴的电子源用于电荷补偿；而第二个泛洪源在磁透镜不使用时既产生低能离子以辅助实现有效的电荷补偿，也产生低能电子。
XPS 离子枪
ESCALAB QXi XPS提供两种用于快速高分辨率深度剖析的选项：标准的 EX06 离子枪，针对单原子离子溅射和离子散射光谱进行了优化；以及可选的单原子与气簇离子源——Thermo Scientific MAGCIS 双束离子源，该离子源能够进行单原子离子剖析、簇离子剖析以及离子散射光谱分析。
Avantage 软件
所有分析功能均由 Thermo Scientific Avantage Software 控制，这意味着在需要时整个分析过程可以远程执行。 Avantage Software 包含 Knowledge View——一个提供教程与参考资料的综合平台，用以引导用户完成分析。
XPS 样品处理与对准
样品台的所有移动轴由 Avantage Software 控制。 借助自动换样系统，可在制备腔与进样锁之间自动交换样品，以实现连续的样品流。 仪器配备了高分辨率数码摄像头，并已与分析位置精确对准。 还可使用 XPS 并行成像来定位用于分析的特征。
多技术表征功能
ESCALAB QXi XPS 标配 ISS 和 REELS，用以补充 XPS 的分析能力。 还可选配 UPS、AES、HAXPES、拉曼和 IPES 等分析选项，以提供满足您实验需求的定制化解决方案。
XPS 仪器对准与校准
随附一块校准样品块，包含铜、银和金样品，用于评估灵敏度、设定分析器能量标尺的线性度、校准离子源、对准 X 射线单色仪以及确定分析器的透射函数。
真空系统
分析腔由 5 mm 厚的 μ 金属制成，以最大化磁屏蔽效率；腔体由涡轮分子泵和钛蒸发泵联合抽气，使分析腔可达到优于 5 × 10^-10 mbar 的真空度。
XPS 样品制备腔
标准的 Preploc 腔室集样品进样锁和制备腔于一体，并设有多个接口，例如加热与冷却探头、离子枪、高压气体腔、样品暂存位和气体引入口。
ESCALAB QXi XPS 技术规格
| 单色 X 射线源 |
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| 分析器 |
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| 离子源 |
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| 真空系统 |
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| 样品台 |
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| 包含的标准分析技术 |
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可选分析技术 |
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| 可选配件 |
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XPS 分析资源
XPS 分析视频
XPS 分析应用说明
ESCALAB QXi XPS 文档
仅供科研使用。不得用于诊断用途。