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材料表征

先进的材料表征实验室需要使用最新技术,且将分析仪器(包括 SEM扫描电镜)的性能发挥到极致。这些实验室中绝大多数都是多用户使用,且不同用户的经验水平不尽相同,同时,扫描电镜的上机时间非常宝贵,因此必须避免在维护、对中、培训或图像优化上花费过多时间。

全新的 Thermo Scientific Apreo 2 SEM 可进行高分辨率成像,并且可以扩展至材料的元素分析。凭借独特的实时元素成像功能,即 Thermo Scientific ColorSEM 技术,可以通过最直观的界面实时获取元素组分信息。ColorSEM 技术消除了与典型 EDS联用的所有复杂操作,为您提供前所未有的快捷和易用性。

凭借 Thermo Scientific SmartAlign 技术(软件自动光学对中),Apreo 2 SEM 对用户和实验室管理人员的要求非常低。此外,Apreo 2 SEM 采用 Thermo Scientific FLASH 技术,可实现自动电子束对中、消像散和聚焦等操作,这项技术的推出意味着即使是扫描电镜的新手用户也可以轻松获得 Apreo 2 SEM 的极致性能。此外,Apreo 2 SEM 是唯一一款在 10 mm 分析工作距离具备 1 纳米分辨率的 SEM。大的工作距离不再意味着牺牲成像效果,使用 Apreo 2 SEM,任何人都能容易地获得出色的结果。

Apreo 2 SEM 视频内容摘要

场发射扫描电镜Apreo SEM的主要特点

优异的空间分辨率及衬度

高分辨率——对于大多数样品都能达到纳米或亚纳米级别的空间分辨率。采用镜筒内同步成像、信号过滤、复合透镜等技术,帮助提升性能,达到最佳的分辨率。

广泛的样品适用性

对于多种样品类型都有极佳的样品灵活性,包括绝缘体、敏感材料、磁性材料等等。这样的灵活性帮助用户获取感兴趣样品的更多的数据。

Wide range of sample types

利用ColorSEM技术实时获取定量能谱数据

只需指尖轻轻点击就可以获取元素信息,实现实时定量面分布,带来前所未有的体验与易用性。

快速简便的样品装载过程

标配的样品台可以一次性容纳多个样品,抽真空过程控制到最短时间,保证进样过程不浪费时间,更加便利地装载样品。同时配备自动插拔的压差光阑(PLA)可以实现高真空与低真空模式之间在毋须开样品仓的条件下一键切换。

高度自动化

高度自动化技术包含FLASH技术(用于自动图像微调)、撤销、用户教程、图像倾斜与拼接。

大工作距离成像

市场上唯一的在大工作距离(10mm)下仍然保持高空间分辨率(1nm)性能和优异的图像质量的扫描电镜,即使对于新手用户,也极易上手操作。

场发射扫描电镜Apreo SEM规格

产品表格规范样式表
 

Apreo 2 S

Apreo 2 C

分辨率

  • 30kV下0.7nm(STEM)
  • 15kV下0.5nm(样品台减速)
  • 1kV下0.9nm
  • 1kV下0.8nm(样品台减速)
  • 1kV下1.0nm(工作距离10mm,样品台减速)
  • 500V下0.8nm(样品台减速)
  • 200V下1.2nm(样品台减速)
  • 30kV下0.7nm(STEM)
  • 15kV下0.9nm(样品台减速)
  • 1kV下1.2nm
  • 1kV下1.0nm(样品台减速)
  • 500V下1.2nm(样品台减速)

标配探测器

  • ETD、T1、T2、T3、IR-CCD、Nav-Cam+
  • ETD、T1、T2、IR-CCD、Nav-Cam+

PivotBeam

  • 选区电子通道衬度模式(也称为"摇摆光束"模式)。
  • 不适用

选配探测器

  • DBS、LVD、DBS-GAD、STEM 3+、RGB-CLD、EDS、EBSD、WDS、拉曼光谱、EBIC 等

ColorSEM技术(选配)

  • 基于能谱仪(EDS)实时定量数据对扫描电镜图像进行着色。可提供的数据包含点分析、线扫描、面扫描、谱图结果及可靠的Noran定量结果

着陆能量范围

  • 20 eV – 30 keV

样品台偏压(样品台减速)

  • -4000V~+600V

低真空模式

  • 选配:样品仓气压范围10-500Pa

样品台

  • 五轴电动马达台,XY轴行程范围110x110mm2,倾斜范围-15°~+90°,最大样品重量:5kg(不倾斜)

最大束流

  • 50 nA(选配 400 nA)

标准样品台

  • 一款多功能样品台,可以容纳18个标准钉台(φ12mm),有三个预倾斜桩,截面样品台和两个STEM载位

样品仓

  • 340mm内宽,12个端口,最多同时安装三个EDS(两个互为180°),EDS、EBSD共面安装并与样品台的倾转轴正交
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场发射扫描电镜Apreo SEM的相关资源

网络讲座:可配备ColorSEM技术的多功能型Apreo 2扫描电镜

这个网络讲座全面地介绍了Apreo 2 SEM 的特点和功能、ColorSEM技术以及Apreo 2的功能演示。通过本次网络讲座,您将会学习到:

  • Thermo Fisher Scientific最新分析型超高分辨率扫描电镜
  • 了解Apreo 2 SEM的技术特点

网络讲座:扫描电子显微镜:选择适合您需求的技术

这个网络讲座旨在帮助您确定哪扫描电镜最符合您的独特需求,介绍赛默飞世尔科技的扫描电镜在不同场景下的多功能高性能应用,以及更快得到原位动态实验结果等解决方案。如果您感兴趣,请观看该网络讲座。

  • 如何满足不同微区分析模式的需求(EDS、EBSD、WDS、CL等)
  • 如何对样品的原始状态进行表征,无需进行样品制备
  • 先进的自动化技术如何节省研究人员的时间并提高生产效率

本视频演示了 Apreo 的 Trinity 检测系统如何快速解答我们对样品的所有问题。

突出显示会忽略的对比度

网络讲座:可配备ColorSEM技术的多功能型Apreo 2扫描电镜

这个网络讲座全面地介绍了Apreo 2 SEM 的特点和功能、ColorSEM技术以及Apreo 2的功能演示。通过本次网络讲座,您将会学习到:

  • Thermo Fisher Scientific最新分析型超高分辨率扫描电镜
  • 了解Apreo 2 SEM的技术特点

网络讲座:扫描电子显微镜:选择适合您需求的技术

这个网络讲座旨在帮助您确定哪扫描电镜最符合您的独特需求,介绍赛默飞世尔科技的扫描电镜在不同场景下的多功能高性能应用,以及更快得到原位动态实验结果等解决方案。如果您感兴趣,请观看该网络讲座。

  • 如何满足不同微区分析模式的需求(EDS、EBSD、WDS、CL等)
  • 如何对样品的原始状态进行表征,无需进行样品制备
  • 先进的自动化技术如何节省研究人员的时间并提高生产效率

本视频演示了 Apreo 的 Trinity 检测系统如何快速解答我们对样品的所有问题。

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场发射扫描电镜Apreo SEM的相关应用

使用电镜进行基础材料研究

基础材料研究

越来越小的规模研究新型材料,以最大限度地控制其物理和化学特性。电子显微镜为研究人员提供了对微米到纳米级各种材料特性的重要见解。

使用电子显微镜进行质量控制和故障分析

质量控制和故障分析

质量控制和保证对于现代工业至关重要。我们提供一系列用于缺陷多尺度和多模式分析的 EM电子显微镜和光谱工具,使您可以为过程控制和改进做出可靠、明智的决策。

半导体寻路

半导体探索和开发

先进的电子显微镜、聚焦离子束和相关半导体分析技术可用于识别制造高性能半导体器件的可行解决方案和设计方法。

半导体良率提升和计量

良率提升和计量

我们为缺陷分析、计量学和工艺控制提供先进的分析功能,旨在帮助提高生产率并改善一系列半导体应用和设备的产量。

半导体故障分析

半导体故障分析

越来越复杂的半导体器件结构导致更多隐藏故障引起的缺陷的位置。我们的新一代半导体分析工作流程可帮助您定位和表征影响量产、性能和可靠性的细微的电子问题。

物理和化学表征

物理和化学表征

持续的消费者需求推动了创建更小型、更快和更便宜的电子设备。它们的生产依赖高效的仪器和工作流程,可对多种半导体和显示设备进行电子显微镜成像、分析和表征。

显示设备故障分析

显示设备故障分析

不断发展的显示技术旨在提高显示质量和光转换效率,以支持不同行业领域的应用,同时继续降低生产成本。我们的过程计量、故障分析和研发解决方案帮助显示公司解决这些挑战。


场发射扫描电镜Apreo SEM的相关技术

ColorSEM

通过实时采集SEM和EDS信息以及实时定量功能,ColorSEM技术将SEM图像转化为彩色图像。现在任何用户都可以实时获取元素信息,得到比以往任何时候更多的完整信息。

了解更多 ›

能量色散谱EDS

能量色散谱(EDS)可采集详细的元素信息以及电子显微镜图像,为电镜观察提供关键的组成背景。利用EDS可通过快速、整体的表面扫描至各个原子以确定化学成分。

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对热样品进行成像

在现实条件中,研究材料通常需要在高温下工作。在热量存在时,可以通过扫描电子显微镜或DualBeam工具对材料再结晶、熔化、变形或反应的行为进行原位研究。

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阴极发光

阴极发光 (CL) 描述材料在电子束的激发下产生的发光现象。该信号由专业的 CL 检测器捕获,包含样品成分、晶体缺陷或光子特性的信息。

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多尺度分析

必须在更高分辨率下分析新材料,同时保留较大的样品背景。多尺度分析允许多种成像工具和模态(如X射线microCT、DualBeam、激光PFIB、SEM和TEM)关联。

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半导体扫描电子显微镜分析和成像

赛默飞世尔科技提供适合半导体实验室每个功能的扫描电子显微镜,从一般成像任务到高级故障分析技术,都需要精确的电压对比测量。

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ColorSEM

通过实时采集SEM和EDS信息以及实时定量功能,ColorSEM技术将SEM图像转化为彩色图像。现在任何用户都可以实时获取元素信息,得到比以往任何时候更多的完整信息。

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能量色散谱EDS

能量色散谱(EDS)可采集详细的元素信息以及电子显微镜图像,为电镜观察提供关键的组成背景。利用EDS可通过快速、整体的表面扫描至各个原子以确定化学成分。

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对热样品进行成像

在现实条件中,研究材料通常需要在高温下工作。在热量存在时,可以通过扫描电子显微镜或DualBeam工具对材料再结晶、熔化、变形或反应的行为进行原位研究。

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阴极发光

阴极发光 (CL) 描述材料在电子束的激发下产生的发光现象。该信号由专业的 CL 检测器捕获,包含样品成分、晶体缺陷或光子特性的信息。

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多尺度分析

必须在更高分辨率下分析新材料,同时保留较大的样品背景。多尺度分析允许多种成像工具和模态(如X射线microCT、DualBeam、激光PFIB、SEM和TEM)关联。

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半导体扫描电子显微镜分析和成像

赛默飞世尔科技提供适合半导体实验室每个功能的扫描电子显微镜,从一般成像任务到高级故障分析技术,都需要精确的电压对比测量。

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场发射扫描电镜Apreo SEM的相关文件

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如果您需要获得更多关于场发射扫描电镜Apreo SEM的资料,请填写下面表格与我们联系。

电子显微镜服务

为实现理想的系统性能,我们为您提供了由现场服务专家、技术支持部门和认证备件组成的全球网络支持。

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