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能够进行成分分析，并将生成的化学成分分布图三维可视化，对于获得材料的真实 元素分布或组分至关重要，最终将为样品的结构-功能关系提供新的见解。
现代材料研究越来越依赖于纳米尺度下的三维分析。全三维表征包括化学和成像数据，使三维能量色散 X 射线光谱仪（EDS，也缩写为 EDX 或 XEDS）成为不可或缺的技术。因此，为了获得最高质量的结果，需要具有动态高分辨率成像能力以及快速和定量数据采集能力的仪器。采集方案（TEM、STEM 和 EDS）的灵活性、轻松且可重复地优化实验的能力以及快速和高灵敏度地采集元素分布数据是捕获纳米材料真实 3D 结构和成分的先决条件。
电子断层扫描术通过逐步调整观察样品的角度来重构材料的 3D 结构。这会产生一组倾转系列的图像，这些图像可通过数字计算方式被反向投影用以呈现原始样品体积。EDS 谱图可以与电子显微镜 (EM) 图像一同获得，提供详细的元素背景。以下仅为 EDS 断层扫描术用例的几个示例，涵盖了各种尺度、分辨率和应用。
Thermo Fisher Scientific 公司的仪器提供一系列自动化功能，使您可预先确定元素分布图像采集条件、漂移校正和探头参数，以及自动对焦和自动倾转样品的条件。这种自动化水平使您能够设置 EDS 断层扫描实验，然后在无人看管的情况下完成整个数据采集过程。使用Thermo Scientific Inspect 3D和Avizo Software进行可视化和重构。
用作钠离子和锂离子电池电极材料的 P-Zn-In 纳米管的 EDS 断层扫描。在合成过程中锌的偏析并不为人所知。然而，元素分布数据清楚地揭示了锌相对于其他元素的分布。很明显，在直纳米管中几乎没有锌。样品由密歇根理工大学的 Reza Shahbazian Yassar 博士提供。
AlMgSi 合金中析出物的 3D EDS TEM 断层扫描。样品由奥地利莱奥本大学的 Thomas Kremmer 和 Stefan Pogatscher 提供。
聚合物片材中有机纳米颗粒的 EDS 断层扫描数据。
催化剂粉末的 EDS 断层扫描数据。样品由芬兰坦佩雷理工大学提供。
硫化铜铟 (CuInS2) 纳米结构的 EDS 断层扫描数据。样品由南非祖鲁兰大学的 Neerish Revaprasadu 教授提供。
Talos S/TEM 上的 EDS 断层扫描工作流程示例演练。
STEM 和 EDS 断层扫描显示钯颗粒（红色）相对于车辆老化催化剂材料中其他元素的分布。
重构的 Ag-Pt 核壳纳米粒子体积的数字化切片。样品由天津理工大学电子显微中心的丁轶教授和罗俊教授提供。
存在元素的纳米粒子的分段表面渲染：银核，铂壳（为了增加可见度，铂壳已着色为半透明）。
用作钠离子和锂离子电池电极材料的 P-Zn-In 纳米管的 EDS 断层扫描。在合成过程中锌的偏析并不为人所知。然而，元素分布数据清楚地揭示了锌相对于其他元素的分布。很明显，在直纳米管中几乎没有锌。样品由密歇根理工大学的 Reza Shahbazian Yassar 博士提供。
AlMgSi 合金中析出物的 3D EDS TEM 断层扫描。样品由奥地利莱奥本大学的 Thomas Kremmer 和 Stefan Pogatscher 提供。
聚合物片材中有机纳米颗粒的 EDS 断层扫描数据。
催化剂粉末的 EDS 断层扫描数据。样品由芬兰坦佩雷理工大学提供。
硫化铜铟 (CuInS2) 纳米结构的 EDS 断层扫描数据。样品由南非祖鲁兰大学的 Neerish Revaprasadu 教授提供。
Talos S/TEM 上的 EDS 断层扫描工作流程示例演练。
STEM 和 EDS 断层扫描显示钯颗粒（红色）相对于车辆老化催化剂材料中其他元素的分布。
重构的 Ag-Pt 核壳纳米粒子体积的数字化切片。样品由天津理工大学电子显微中心的丁轶教授和罗俊教授提供。
存在元素的纳米粒子的分段表面渲染：银核，铂壳（为了增加可见度，铂壳已着色为半透明）。
采用电镜进行过程控制
现代工业需求高通量、质量卓越、通过稳健的工艺控制维持平衡。SEM扫描电镜和TEM透射电镜工具结合专用的自动化软件，为过程监控和改进提供了快速、多尺度的信息。
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