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透射电子显微镜资源

什么是透射电子显微镜？

透射电子显微镜（TEM）广泛应用于多个行业和学科，可用于以亚纳米甚至原子分辨率观察材料与样品。

 

透射电镜通过使电子束穿透极薄样品，对样品内部结构和精细特征（如原子排列和晶体结构）进行成像。随着硬件和软件不断发展，这一重要工具的易用性和通用性持续提升，单台仪器即可开展多种分析，包括扫描透射电子显微镜（STEM）、能量色散 X 射线光谱（EDS）、电子能量损失谱（EELS）等。

 

通过我们的资料了解透射电子显微镜以及赛默飞透射电镜的功能。

透射电镜资源亮点

适用于 Talos (S)TEM 的 X-CFEG

宣传册：用于生命科学的 Talos 12 透射电镜

以简便方式对纳米颗粒进行成像与分析

半导体结构自动化透射电镜计量与失效分析的近期进展

庆祝 30 余年透射电镜样品制备创新

透射电子显微镜网络研讨会与视频

透射电镜网络研讨会

高质量 STEM EELS 数据采集要素

观看本次网络研讨会，了解如何针对 EELS 数据采集优化 Thermo Scientific Spectra (S)TEM 及其高亮度冷场发射枪（X-CFEG），尤其是在采用较大收集角和/或较短相机长度、对光学性能要求较高的情况下。

采用无镓聚焦离子束铣削进行透射电镜样品制备

在本次网络研讨会中，我们将讨论离子与材料相互作用的机制，以帮助您尽可能获得接近无损的样品。

基于透射电镜的自动粒径分析

了解如何让透射电镜实现 24/7 无人值守运行，同时提高纳米级颗粒分析的重复性。减少重复的人工分析和操作员偏差，并快速获得统计数据。

了解 4D STEM

这些理论课程与动手实操课程旨在提供对 4D STEM 的全面且实用的理解，覆盖基础到高级技术与应用。无论您是 4D STEM 的初学者，还是希望提升技能，本系列均可帮助您学习如何为相位与取向映射、应变场测量以及空间分辨率提升等技术优化采集参数。

提升 S/TEM 缺陷分析与计量效率

本次网络研讨会介绍了一种由基于机器学习的“Smart Automation”技术驱动的新型交互式工作流程。该工作流程可加快获取新型半导体器件的 S/TEM 分析结果，并减轻操作人员负担。我们还将探讨交互式自动化方法如何提升 Smart Automation 的灵活性，以更好地应对动态需求，并扩展对不同样品类型的覆盖，作为全自动工作流程的补充。

半导体 透射电镜 基础：元素分析

在本次网络研讨会中，我们将介绍相关分析示例，说明能量色散 X 射线谱（EDS）和电子能量损失谱（EELS）的基本特性，并阐述两种方法如何提供互补数据。在此基础上，我们还将讨论如何优化 EDS 和 EELS，以获得理想的分析结果。

DRAM 电容的自动化 STEM-EDS 计量与表征

本次网络研讨会介绍了一种基于扫描透射电子显微镜（S/TEM）和能量色散 X 射线谱（EDS）的计量方法，该方法由 Thermo Scientific Metrios 6 (S)TEM 及其新型 Ultra-X EDS 探测器实现。Ultra-X EDS 探测器提供 4.45 srad 的立体角，数据采集效率至少为上一代探测器的 2 倍。凭借灵敏度、效率和吞吐能力的提升，该系统可提供高质量分析信息并实现快速 EDS 数据采集。

先进功率器件的样品制备与透射电镜成像技术

本次网络研讨会通过实际案例讨论器件缺陷和衬底中的晶体位错、截面与透射电镜薄片的聚焦离子束（FIB）样品制备，以及 Ga+ 以外离子源的性能优势。我们还将深入探讨 S/TEM 分析所涉及的复杂性和关键要求。

半导体透射电子显微镜基础

本系列网络研讨会涵盖透射电子显微镜（TEM）及扫描透射电子显微镜（S/TEM）的基础知识，重点介绍这些技术在半导体领域的应用。主题包括透射电镜成像、元素分析、S/TEM 与透射电镜的比较、透射电镜计量，以及透射电镜在半导体生产和分析中的其他应用。

面向先进半导体应用的 (S)TEM 平台

先进的半导体研究人员和开发人员需要具备原子尺度的表征能力，以便进行快速、可重复且无损的分析。

自动化 透射电镜 计量

在本次点播 SPARK 网络研讨会中，我们将介绍 Thermo Scientific Metrios AX 透射电镜的自动化功能，探讨人工智能（AI）和机器学习（ML）的关键作用，并分享有助于实现透射电镜样品制备流程自动化的经验。此外，我们还将展示环绕栅（gate‑all‑around）结构的透射电镜计量结果。

透射电镜视频

仅供研究使用。不得用于诊断程序。