Scios 3 FIB-SEM 功能特性

创新的 NICol 电子镜筒为 Scios 3 FIB-SEM 的高分辨率成像和检测能力奠定了技术基础。 它可在多种工作条件呈现优秀的纳米级细节信息：既可以在 30 keV 的 STEM 模式下获取材料的结构信息，也可在低能量模式下从样品表面获得物电荷干扰的样品表面的细节信息。 凭借采用全自动校准技术的独特 NICol 镜筒设计，可实现快速、准确、可重现的结果。

独特的镜筒内三合一检测 (Trinity Detection) 技术，可实现角分辨与能量选择的SE和BSE同时成像。 可快速获取相当精细的纳米尺寸信息，不仅支持从上到下的样品观察，还可用于倾斜样品或横截面样品的分析。 选配的极靴下探测器与电子束减速模式，可确保快速、便捷地同时采集所有信号，揭示材料表面或截面的微观结构特征。

Scios 3 FIB-SEM 推出了全自动横截面分析的专用应用模块，可通过精确定位感兴趣目标区域，实现高质量、多模态的亚表面表征。 该解决方案旨在简化工作流程，减少用户干预，并帮助确保在高通量环境中持续获得高质量结果。

Scios 3 FIB-SEM 的最新技术创新，结合全面直观的 Thermo Scientific AutoTEM 5 软件和我们专业的应用经验，可快速便捷地制备多种材料的定点高分辨扫描/透射电镜 (HR-S/TEM) 样品。 为了获得高质量结果，需要使用低能量离子进行最终抛光，以尽可能减少对样品表面的损伤。 Thermo Scientific 的双束电镜技术不仅能够在高电压下具有高分辨率成像和切割能力，还具有良好的低电压性能，能够制备高质量的 TEM 薄片。

直观的用户界面可简化操作流程，显著降低学习门槛。 这种设计改进使您能够快速掌握系统操作并专注于您的研究目标，有效提高工作效率。 用户友好型界面确保即使经验不足的操作者也能高效运行系统，显著拓宽了设备的用户适用范围。 它提供了用户指导功能，使新用户可快速上手并开展工作。 此外，“撤消”和“重做”等功能使您放心进行更多实验探索。 这种易用性对于大幅度地发挥系统潜力和实现出色结果至关重要。

灵活的双束电镜的配置，可根据特定的应用需求进行定制化调整。 这种灵活性允许您根据实际需求对系统进行配置，确保它可以应对多种任务挑战。 双束电镜配置显著增强系统的多功能性，使其适用于从表面/亚表面成像到高阶的分析型 3D 表征和样品制备等各种应用场景。 对于需要一个能够适应多样化和不断变化的研究需求的研究人员和工程师来说，这种适应性至关重要。

Scios 3 FIB_SEM专为材料科学中最具挑战性的电子显微镜任务而设计，可配备μHeater 样品台，这是一种完全集成的、极其快速的且基于 MEMS 技术的加热台，能在更接近真实工作条件下进行样品表征。 110 mm 载物台最大可倾斜 90˚，并提供较长的优中心工作距离，灵活性高。 Scios 3S FIB-SEM 提供可选的低真空模式，可轻松适配各种样品类型和数据采集需求。 它将扩展的沉积和蚀刻功能与 Thermo Scientific MultiChem 气体输送系统相结合，增强了样品的灵活性和控制能力，从而创建了一种通用的高效能 FIB-SEM 仪器，并享受我们专业应用和服务工程师的支持。