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聚焦离子束扫描电子显微镜的应用
Thermo Scientific Scios 3 FIB-SEM 专为材料微观结构表征、3D 材料分析和 TEM 样品制备等高端应用而设计。Scios 3 FIB-SEM 采用先进的聚焦离子束（FIB）技术和创新的自动化解决方案，即使对复杂材料也能实现精确高效的样品制备和分析。 这使得 Scios 3 FIB-SEM 成为研究人员在纳米尺度研究材料特性、成分和结构完整性的重要工具。
使用 FIB-SEM 进行材料微观结构表征
FIB-SEM 仪器的基本应用是制备截面样品，这项基本应用能深入揭示材料的微观结构。 通过聚焦离子束（ FIB ）选择性去除材料，可使用 SEM 或 EDS 进一步检查样品表面下的隐藏结构，揭示样品的结构特性、组成和失效机制等详细信息。
实现高质量截面制备的关键因素， 取决于聚焦离子束（FIB）镜筒能否高效聚焦离子以实现快速、洁净的切割。 对于复杂或非均质样品的制备，虽然可能会带来挑战，但Thermo Scientific双束电镜系统内置的"摇摆切割"技术（软件功能），无需额外的硬件即可协助制备光滑的高质量表面。 此外，Thermo Scientific 自动横截面软件可实现全自动制备多个区域的截面并采集多模式数据，从而提高操作员和设备的工作效率。
锂电池正极极片中 NMC 颗粒的截面。
双束电镜用于材料、器件结构和缺陷的三维重构分析
三维表征通常有助于更深入地理解样品的结构和特性。 配置选配的Thermo Scientific 自动切割和成像软件&，可实现高质量、全自动多模态 3D 数据采集，包括用于最大材料对比度的 BSE 成像、成份分析的能谱仪 (EDS)技术 以及用于微观结构和晶体学信息的电子背散衍射 (EBSD) 技术等。 结合 Thermo Scientific Avizo 软件，组合使用后，它可为纳米级的高分辨率高阶三维表征和分析提供独特的工作流程和解决方案。
循环测试后锂电池硅碳负极的三维能谱 (3D EDS) 重构结果。
扫描透射电子显微镜样品制备
配备 Thermo Scientific AutoTEM 5 软件的 Scios 3 FIB-SEM 在自动化 TEM 样品制备方面表现出色，可快速、精确地制备高质量、定点的 TEM 样品。 其先进的铣削和低能抛光技术有助于确保样品具有良好的质量、极小的表面损伤和出色的结构完整性。 这种能力对于需要为其研究制备详细且准确的 TEM 样品的研究人员和工程师来说至关重要。 该系统能够快速、高效地制备高质量的 TEM 样品，这使其成为高级研究中必不可少的工具。
即使是新手用户也可以获得高质量的 TEM 样品。
For Research Use Only. Not for use in diagnostic procedures.