FIB SEM | Scios 2 | Thermo Fisher Scientific

高质量亚表面和 3D 信息

通常需要进行亚表面或三维表征以更好地理解样品的结构和性质。Scios 2 DualBeam 及可选配的 Thermo Scientific Auto Slice & View 4 (AS&V4) 软件可提供高质量、全自动的多模式 3D 数据集采集，包括用于最大材料对比度的背散射电子 (BSE) 成像、用于组成信息的能量色散光谱 (EDS) 以及用于微观结构和晶体学信息的电子背散射衍射 (EBSD)。与 Thermo Scientific Avizo 软件组合使用后，Scios 2 DualBeam 可为纳米级的高分辨率、高级 3D 表征以及分析提供独特的工作流程解决方案。

以超高分辨率提供完整的样品信息

创新的 NICol 电子色谱柱为系统的高分辨率成像和检测能力提供了基础。它适用于多种工作条件，无论是在 30 keV 的 STEM 模式下（访问结构信息）还是以较低能量（获得无电荷的详细表面信息）运行，都可以提供出色的纳米级细节。Scios 2 DualBeam 具有独特的镜筒内 Thermo Scientific Trinity 检测系统，专用于同时采集角和能量选择二级电子 (SE) 以及 BSE 成像数据。不仅可以快速访问从上到下的详细纳米级信息，还可快速访问倾斜的样品或交叉切片的信息。可选配的透镜下检测器和电子束减速模式可以快速、便捷地同时采集所有信号，揭示材料表面或交叉切片中最小的特征。借助独特的、具有全自动对齐功能的 NICol 色谱柱，可获得快速、准确、可重现的结果。

快速、便捷地制备高质量 TEM 样品

科学家和工程师不断面临新的挑战、需要对越来越复杂的样品的更小特征进行高度局部表征。Scios 2 DualBeam 的最新技术创新与可选、易用和全面的 Thermo Scientific AutoTEM 4 软件以及赛默飞世尔科技的应用专业知识相结合后，可支持客户快速方便地制备用于多种材料的自定义高分辨率 S/TEM 样品。为了获得高质量结果，需要使用低能量离子进行最终抛光，以尽可能减少对样品表面的损坏。Thermo Scientific Sidewinder HT 聚焦离子束 (FIB) 镜筒不仅能够在高电压下具有高分辨率成像和铣削能力，还具有良好的低电压性能，能够创建高质量的 TEM 薄片。

主要特点

快速、便捷的制备

使用 Sidewinder HT 离子柱获得高质量、现场特定的 TEM 和原子探针样品。

超高分辨率成像

使用在最广泛的样品范围（包括磁性和非导电材料）内具有一流性能的 Thermo Scientific NICol 电子色谱柱。

最完整的样品信息

通过各种集成式色谱柱内和透镜下检测器获得清晰、精确和无电荷的对比度。

高质量、多模式亚表面和 3D 信息

使用可选配的 AS&V4 软件，通过精确靶向感兴趣区域来获得高质量、多模式亚表面和 3D 信息。

精确的样品导航

高度灵活的 110 mm 载物台和腔室内 Thermo Scientific Nav-Cam 摄像机允许根据具体应用需求进行定制。

无伪影成像和构成图案

具有专用模式，如 DCFI、漂移抑制和 Thermo Scientific SmartScan 模式。

优化您的解决方案

灵活的 DualBeam 配置，包括可选配的最高 500 Pa 腔室压力低真空模式，可满足具体的应用要求。

规格

产品表格规范样式表

电子束分辨率	最佳 WD 在 30 keV STEM 下为 0.7 nm 在 1 keV 下为 1.4 nm 在 1 keV（射束减速）下为 1.2 nm
电子束参数空间	电子束电流范围：1 pA 至 400 nA 着陆能量范围：20* eV – 30 keV 加速电压范围：200 V – 30 kV 最大水平射野宽度：7 mm WD 时为 3.0 mm，60 mm WD 时为 7.0 mm 可通过标准导航剪辑提供超宽视野 (1×)
离子光学系统	加速电压：500 V – 30 kV 电子束电流范围：1.5 pA – 65 nA 15 位置光阑条漂移抑制模式，为非导电样品的标准模式最小离子源寿命：1,000 小时离子束分辨率：选择角方法下 30kV 时为 3.0 nm
检测器	Trinity 检测系统（镜筒内和色谱柱内） T1 分段式下镜筒内检测器 T2 上镜筒内检测器 T3 可伸缩色谱柱内检测器（可选配）多达 4 个同时检测的信号 Everhart-Thornley SE 检测器 (ETD) 用于二级离子 (SI) 和二级电子 (SE) 的高性能离子转换和电子检测器 (ICE)（可选配）可伸缩、低电压、高对比度、分段式、固态反向散射电子检测器 (DBS)（可选配）带 BF/DF/HAADF 分段的可伸缩 STEM 3+ 检测器（可选配）查看样品和腔室的 IR 摄像机腔室内 Nav-Cam 样品导航摄像机（可选配）集成的光束电流测量
载物台和样品	灵活的 5 轴电动平台： XY 范围：110 mm Z 范围：65 mm 旋转：360°（无限）倾斜范围：-15° 至 +90° XY 重复性：3 μm 最大样品高度：与共心点间距 85 mm 0° 倾斜时的最大样品重量：5 kg （包括样品架）最大样品尺寸：完全旋转时 110 mm（也可以是更大的样品，但旋转有限）计算中心旋转和倾斜