原子 分辨率元素映射

元素映射

通过将原子级别的电子探针与高电流和 高灵敏度的 X 射线检测器相结合，现在能利用电子显微镜实现常规原子分辨率光谱。能量色散 X 射线光谱（EDS，也缩写为 EDX 或 XEDS）由于其独特的 X 射线信号，可鉴定各种元素，非常适合区分单个原子。研究人员利用这一信息可以原子级对材料进行表征和修改，对纳米材料和颗粒的行为获得无以伦比的见解。

正如该页面上水塔酸盐实例中所示，个别原子位置可通过其清晰的化学信号来区分。单个原子色谱柱不仅能够看到，而且由于其高对比度而与相邻区域不同；即使混合色谱柱和纯色谱柱也能有所区分。此外，EDS 信号甚至还使探测轻元素成为可能，因为众所周知在这些分辨率下这些元素难以观察。

只有通过赛默飞世尔科技独特的 ChemiSTEM 技术以及 Dual-X Super-X 检测系统的多固态盘设计，才能够获得如此稳健、高质量的结果。凭借改进的信号生成和检测能力，原子级空间分辨率所需的低探针电流不再对 X 射线光谱采集和分析构成障碍。